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公司基本資料信息
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氣體分析常用檢測器性能比較
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種類
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氦離子化檢測器
(PDHID) |
熱導(dǎo)檢測器
(TCD) |
氧化鋯檢測器
(ZrO2) |
氬離子檢測器(ArD)
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靈敏度
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檢測靈敏度最高,氣體中雜質(zhì)的最小檢測濃度達(dá)5ppb
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檢測靈敏度較低,很難測定5ppm以下的雜質(zhì)
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檢測靈敏度較低,只能檢測0.1ppm 以上濃度的雜質(zhì)
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檢測靈敏度較低,只能檢測0.05ppm 以上濃度的雜質(zhì)
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通用性
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通用型檢測器,對幾乎所有無機(jī)和有機(jī)物質(zhì)均有很高的響應(yīng),適用于所有高純氣體和電子工業(yè)用氣體
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通用型檢測器
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選擇性檢測器,只能檢測氣體中H2、O2、CH4、CO四種雜質(zhì)
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選擇性檢測器,只能檢測氬氣中組份
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放射性
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非放射性檢測器,使用安全
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非放射性
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非放射性
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放射性檢測器
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GC-9560-HG氦離化氣相色譜儀對6種雜質(zhì)的檢測限(ppb)
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雜質(zhì)種類
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H2
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O2
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N2
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CO
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CH4
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CO2
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檢測限
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5
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10
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10
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25
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5
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5
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